Дифференциальный интерферометр

Детекторная головка дифференциального интерферометра RLD10-X3-DI позволяет выполнять измерение относительных смещений между неподвижным, контрольным зеркалом и подвижным, измерительным зеркалом. Детекторная головка RLD10-X3-DI особенно хорошо подходит в случае работы в вакуумных средах и в средах с контролируемыми параметрами. Она предусматривает монтаж на наружную стену технологической камеры с использованием простого крепления с тремя штырями. Входить в камеру для регулировки детекторной головки не требуется, поскольку встроенные устройства для юстировки позволяют выполнять независимую регулировку по углам тангажа и рысканья опорного и измерительного пучков. Конструкция крепежной системы такова, что детекторная головка может сниматься и устанавливаться обратно на свое место с минимальным нарушением юстировки системы.

Технические характеристики

Эти данные относятся к системе с головкой RLD10-X3-DI и лазерным блоком RLU20

Конструктивные особенности и преимущества

• Исключительные метрологические характеристики
  Стабильность частоты лазерного излучения порядка ppb (частей на миллиард) и сверхнизкая циклическая ошибка, что позволяет достигать значения выходного разрешения вплоть до 38,6 пм.
• Конфигурация, обеспечивающая дифференциальные измерения
  Измерение смещения стола относительно станины или детали относительно инструмента, а также устранение ошибок обычного режима работы, например, смещения стенки камеры, вызываемого колебаниями параметров окружающей среды.
• Быстрая юстировка
  Простой процесс юстировки с наружной стороны технологической камеры с использованием четырех встроенных устройств для юстировки (точность юстировки по углам тангажа и рысканья ±1° как для измерительного, так и для опорного пучка). Эта юстировка позволяет соблюдать допуски для камеры и крепления зеркала.

Зарегистрируйтесь для получения информации о лазерных энкодерах.