 | Лазерные энкодеры
Лазерный энкодер HS10 для длинных осей используется с 1994 г. для измерения по осям длиной до 60 м. В 2001 г. этот энкодер был дополнен серией лазерных энкодеров RLE, в которых используются запатентованный уникальный «удаленный» лазерный источник и головка, подсоединяемая через оптоволоконный кабель. Эта система постоянно усовершенствуется; в ней используются дополнительные варианты лазерных источников, новые интерферометрические схемы, система компенсации квадратурных сигналов в реальном времени, а также интерфейсы передачи сигналов разного вида. В настоящее время система RLE применяется многими крупнейшими производителями оборудования для производства полупроводниковых приборов, а также для решения других многочисленных задач, связанных с измерениями на коротких осях (менее 4 м). Во всех таких случаях характеристики системы RLE позволяют использовать преимущества интерферометрии там, где ранее это было неосуществимо. Вас интересует также обширный набор оптических и магнитных бесконтактных энкодеров компании Renishaw? |
Интерферометрические энкодеры для сверхточных измерений линейных перемещений с обратной связью. Компания Renishaw является мировым лидером в области разработки и поставки метрологических систем, основанных на технологии лазерных интерферометрических измерений с синхронным детектированием сигнала. Это лидерство обеспечивается 25 годами опыта разработки устройств для метрологии станков и технологий систем.
