X-Y-система (плоское зеркало)

Содержание страницыРесурсыПозвонить в местное представительство Связаться с нами онлайн

Dual axis plane mirror application X-Y (планарные) системы RLE включают в себя двухосевой лазерный блок RLU и две детекторные головки (настроенные на использование в системе с плоским зеркалом). Выбор лазерного блока зависит в значительной мере от условий эксплуатации; исполнение RLU20 особенно хорошо подходит в случае работы в вакуумных средах и в средах с контролируемыми параметрами. В системах RLE10 используются лазерные блоки RLU10, а в системах RLE20 - блоки RLU20. 

Технические характеристики

Выходные сигналы Цифровые - квадратурный RS422
Аналоговые - 1 Vpp синусоидальный/косинусоидальный
Разрешение Цифровое - до 10 нм, выбирается пользователем (для системы с плоским зеркалом)
Аналоговое - субнанометровое за счет внешней интерполяции (например, параллельный интерфейс RPI20)
Максимальная скорость 1 м/с (в системе с плоским зеркалом)
Тип лазера HeNe (гелий-неоновый), 632,8 нм при н.у., класс II 
Стабильность частоты лазерного излучения ±50 ppb (частей на миллиард) в течение 1 часа для RLU10
±2 ppb в течение 1 часа для RLU20
Срок службы лазера >50 000 часов
Максимальная длина оси 1 м (в системе с плоским зеркалом)

При использовании системы в средах, отличных от вакуума, требуется компенсация изменения показателя преломления воздуха для обеспечения постоянной точности измерений при изменяющихся параметрах окружающей среды. С этой целью Renishaw предлагает систему RCU10 для компенсации квадратурных сигналов в реальном времени.

Благодаря встраиваемому в систему RLE параллельному интерфейсу RPI20 может достигаться разрешение до 38,6 пикометров. Этот интерфейс позволяет принимать дифференциальные аналоговые сигналы 1 Vpp (синусоидальный/косинусоидальный) с выдачей выходного сигнала в параллельном формате. См. раздел Дополнительные принадлежности, где приводятся сведения о системе компенсации RCU10, интерфейсе RPI20 и ином вспомогательном оборудовании для систем RLE и лазерной шкалы HS10 для измерений больших перемещений.

Следующий шаг

Свяжитесь с нами через Интернет для получения дополнительной информации или для отправки запроса о цене. Вы можете также поговорить напрямую с сотрудниками своего представительства Renishaw.