Пропустить переходы по меню

Дифференциальный интерферометр RLD10

Дифференциальные интерферометры позволяют выполнять измерение по отношению к установленному эталонному параметру.

Головка дифференциального интерферометра имеет уникальную оптическую схему, которая обеспечивает низкую ошибку подразбиения (SDE). Встроенные устройства для юстировки лазерного пучка обеспечивают возможность регулировки по углу тангажа и рысканья, упрощая процесс юстировки (подходит только для систем с плоскими зеркалами).

Детекторная головка системы RLD10-X3-DI предусматривает монтаж на наружную стену технологической камеры с использованием простого крепления с тремя штырями. Входить в камеру для регулировки детекторной головки не требуется, поскольку встроенные устройства для юстировки позволяют выполнять независимую регулировку по углам тангажа и рысканья опорного и измерительного пучков. Конструкция крепежной системы такова, что детекторная головка может сниматься и устанавливаться обратно на свое место с минимальным нарушением юстировки системы.

Особенности и преимущества

  • Исключительные метрологические характеристики – стабильность частоты лазерного излучения порядка ppb (частей на миллиард) и сверхнизкая циклическая ошибка, что позволяет достигать значения выходного разрешения вплоть до 38,6 пм.
  • Конфигурация, обеспечивающая дифференциальные измерения – измерение смещения стола относительно станины и, следовательно, устранение ошибок обычного режима работы, например, смещения стенки камеры, вызываемого колебаниями параметров окружающей среды.
  • Быстрая юстировка – простой процесс юстировки с наружной стороны вакуумной камеры с использованием четырёх встроенных устройств для юстировки, что позволяет соблюдать допуски для камеры и крепления зеркала.

Технические характеристики

Перемещения по осям0 м - 1 м
Разрешение (сконфигурировано с помощью RLU)Аналоговый квадратурный = λ/4 (158 нм)
Цифровой квадратурный = 10 нм
Разрешение RPI20 = 38,6 пм

Ошибка нелинейности системы* (SDE)

*исключая интерфейс

<±1 нм менее 50 мм/с с >70% мощностью сигнала
<±6 нм при 1 м/с с >50% мощностью сигнала
Максимальная скоростьДо 1 м/с
Детекторная головка дифференциального интерферометра часто конфигурируется с помощью системы RLU20 компании Renishaw. Высокая стабильность источника лазерного излучения RLU20 в сочетании с рабочими характеристиками головки дифференциального интерферометра является идеальным выбором для измерений в вакуумных камерах и других строго контролируемых средах.

Информация о товаре