Пропустить переходы по меню

Многоосевой перископ RMAP

Многоосевой перископ обеспечивает возможность измерения по шести степеням свободы при использовании двухкоординатного стола

Обеспечивает возможность измерения по шести степеням свободы при использовании двухкоординатного стола за счет минимизации площади контакта лучей от нескольких интерферометров. При использовании трех головок интерферометра RLD10-X3-DI многоосевой перископ позволяет с высокой точностью измерять крен, рысканье и линейное положение.

Благодаря угловому диапазону ±30 угловых секунд многоосевой перископ совместим со многими прецизионными столами и позволяет повысить эффективность их работы. Единственная установочная поверхность позволяет быстро и удобно устанавливать перископ на вакуумную камеру или метрологическую стойку.

При использовании головки RLD10-X3-DI для угловых измерений погрешности, возникающие из-за колебаний частоты лазера и изменчивости окружающей среды, становятся одинаковыми для обеих траекторий лучей. Это повышает точность и повторяемость по сравнению с методом определения угловых отклонений по двум независимым лучам.

Многоосевой перископ RMAP-3A

Особенности и преимущества

  • Минимальная площадь контакта луча – всего 18 мм на 35 мм. Это позволяет использовать целевые зеркала минимальных размеров и массы.
  • Простота установки — устройство рассчитано на установку непосредственно на наружную поверхность вакуумной камеры и крепится всего четырьмя болтами.
  • Высокая эффективность — использование независимых головок RLD10-X3-DI повышает точность и повторяемость измерений по сравнению с традиционными методами.

Информация о товаре