Пропустить переходы по меню

Инкрементальная энкодерная система для сверхвысокого вакуума TONiC™ UHV с линейной шкалой RSLM20

Отличительные характеристики

  • Размер считывающей головки: 35 x 13,5 x 10 мм
  • Разрешение до 1 нм
  • Скорость до 10 м/с
  • Аналоговые или цифровые выходы
  • Сверхнизкая ошибка подразбиения (SDE): обычно < ±30 нм
  • Оптическая нулевая метка IN-TRAC

Преимущества

  • Сверхвысокий вакуум (UHV)
  • Высокоточная реечная шкала
  • Сверхкомпактный энкодер с динамической обработкой сигналов для улучшения управления перемещениями
  • Диагностический комплект предназначен для оказания помощи при сложной процедуре установки и для оптимизации работы системы.
Прозрачный участок для баннеров на веб-сайте

Что такое TONiC UHV?

Система TONiC UHV позволяет использовать сверхкомпактную бесконтактную энкодерную систему компании Renishaw в условиях сверхвысокого вакуума, обеспечивая заказчикам улучшенное управление перемещениями.
Система TONiC обеспечивает управление на скоростях до 10 м/с, а в сочетании с Ti-интерфейсом – разрешение до 1 нм как для линейных, так и для поворотных систем. Особенностью систем TONiC является быстрота и легкость их установки, широкие допуски погрешности установки, а также калибровка нажатием кнопки. Динамическая обработки сигнала в системе TONiC повышает стабильность сигнала и дает сверхнизкую ошибку подразбиения, обычно < ±30 нм, что обеспечивает исключительные характеристики управления перемещением.

Что такое шкала RSLM20?

RSLM20 – это реечная шкала из нержавеющей стали с шагом 20 мкм и различными вариантами установки оптической нулевой точки IN-TRACK, в том числе с равными промежутками по выбору пользователя или одной нулевой меткой по центру либо у края шкалы.
Cравнимая со стеклянными шкалами с малым шагом, обеспечивает суммарную погрешность (включая наклоны и линейность) менее ±4 мкм на 5 м длины. Шкалу RSLM можно свернуть в кольцо для удобства обращения и хранения, при этом в распрямленном состоянии она ведет себя так же, как и реечная шкала.
При решении вопроса о креплении шкалы разработчики могут выбирать между специально разработанной самоклеящейся основой и механическими зажимами. Оба способа монтажа предусматривают независимость теплового расширения шкалы от теплового расширения подложки.

Почему именно энкодерная система?

Сверхвысокий вакуум (UHV)

Считывающие головки TONiC UHV обладают превосходными характеристиками системы TONiC, они спроектированы и сконструированы с применением материалов и процессов, совместимых с условиями сверхвысокого вакуума, что делает их пригодными для использования в сверхвысоком вакууме при давлении до 10 -10 торр.
Энкодеры TONiC UHV и дополнительные принадлежности изготовлены из материалов и клеящих веществ, совместимых с условиями сверхвысокого вакуума, которые имеют низкую скорость газовыделения и низкое содержание остаточных газов (RGA), что делает их пригодными для использования во многих областях, в том числе при обработке/тестировании пластин из полупроводникового материала, в приборах для научных исследований, спектроскопии, оборудовании для контроля вакуума и многих других.

Сочетает в себе особую надежность и повышенную точность

Система TONiC RSLM20 сочетает в себе удобство, надёжность и простоту использования ленточной шкалы, обеспечивая при этом более высокую точность, чем стеклянные шкалы, что делает её идеальной для работы на длинных осях, когда требуется очень высокая точность.

Исключительные технические характеристики и надежность при компактном размере

В целях достижения максимальной надежности и постоянства технических характеристик в считывающих головках TONiC предусмотрена система фильтрации оптических сигналов третьего поколения, обеспечивающая еще более низкий уровень шума (дрожания); в настоящее время система усовершенствована за счет динамической обработки сигнала, включающей автоматическую регулировку усиления и смещения. Такое сочетание, когда все системы заключены внутри головки, дает сигнал исключительной чистоты и чрезвычайно низкую ошибку подразбиения (периодическую ошибку) – всего ±30 нм. В результате обеспечиваются более плавная регулировка скорости, улучшенные результаты сканирования, повышенная стабильность позиционирования, что, в свою очередь, помогает свести к минимуму нагрев электродвигателей в условиях вакуума – важные параметры для применения в условиях вакуума, и все это в одной компактной считывающей головке.

Более быстрая и более простая процедура установки

Индикатор настройки на считывающей головке позволяет визуально определить уровень мощности сигнала, а дополнительный диагностический комплект предоставляет возможность дистанционно контролировать производительность системы, когда считывающая головка скрыта в станке. Калибровка сигналов нулевой метки и инкрементальных сигналов производится нажатием кнопки без механической регулировки или дополнительных средств диагностики. Выбираемая пользователем оптическая нулевая метка IN-TRAC на инкрементальной шкале предназначена для малых размеров и упрощения юстировки. Благодаря этому формируется выходной сигнал нулевой метки, двусторонняя повторяемость которого соответствует разрешению системы во всем диапазоне рабочих температур и скоростей.

Варианты интерфейса

Интерфейс TD (двойного разрешения)

  • Выбираемый квадратурный выход двойного разрешения. Ti-интерфейс (квадратный)
  • Идеален для применения в тех случаях, когда требуется перемещение на высокой скорости в сочетании с прецизионными перемещениями.

Интерфейс DOP (с двойным выходом)

  • Обеспечивает одновременно цифровые квадратурные сигналы и сигналы 1 Vpp.
  • Предназначен для применения в тех случаях, когда требуется синхронизация одной или нескольких операций с перемещением оси.Интерфейс TONiC с двойным выходом (DOP)

Дополнительный диагностический комплект

Диагностический комплект TONiC™ (программное обеспечение и оборудование)

Диагностическое программное обеспечение TONiC может быть использовано для оптимизации установки энкодеров TONiC и обеспечения быстрой комплексной калибровки системы. Программное обеспечение необходимо использовать вместе с диагностическим оборудованием для системы TONiC, которое можно приобрести в компании Renishaw, указав номер детали A-9411-0011. Оборудование подключается к ПК с помощью USB-кабеля (входит в состав комплекта) или в линию с электронным оборудованием заказчиков.

Подробнее о диагностическом комплекте TONiC.

Технические характеристики

Измерительная шкала

RSLM20: высокоточная реечная шкала из нержавеющей стали

Также выпускается с контрольной меткой конца как RSLE20 и с выбираемой контрольной меткой как RSLC20

Размер считывающей головки (ДxШxВ)

35 мм x 13,5 мм x 10 мм

Шаг шкалы

20 мкм

Коэффициент теплового расширения при температуре 20 °С

10,1 ±0,2 мкм/м/°C

Степень точности при 20 °C

±1,5 мкм на длинах до 1 м, ±2,25 мкм на длинах до 2 м, ±3 мкм на длинах до 3 м, ±4 мкм на длинах до 5 м, калибровка с прослеживаемым соответствием международным стандартам

Нулевая метка

Нулевая метка IN-TRAC

Подробные сведения о различных вариантах нулевых меток см. в проспекте изделия

Концевые выключатели

Единственный или парные датчики конечного положения (указать в заказе)

Длина шкалы

От 80 мм до 5 м

Максимальная скорость

Аналоговый

Цифровой

(подробнее см. в проспекте изделия)

До 10 м/с при -3 дБ

До 10 м/с

Ошибка подразбиения (SDE)

Обычно < ±30 нм

Динамическая обработка сигналов

Обработка сигналов в реальном времени, включающая автоматическую регулировку усиления (АРУ) и смещения (AOC) для оптимизации характеристик во время работы

Инкрементальные сигналы

Аналоговый

Цифровой


1 Vpp (период 20 мкм)

Разрешение от 5 мкм до 1 нм

Электрическое подключение

Длина кабеля: 0,5 м, 1 м, 1,5 м, 3 м, 5 м и 10 м, мини-разъем (для соединения напрямую с интерфейсом TONiC)

Питание

5 В ±10 %, < 100 мА (аналоговая система), < 200 мА (цифровая система) (без оконечной нагрузки)

Потребляемая мощность считывающей головки< 100 мА

Вибрация (в режиме эксплуатации)

Макс. 100 м/с2 при частоте от 55 до 2000 Гц

Удар (в нерабочем состоянии)

1000 м/с2, 6 мс, полусинусоидальный импульс

Рабочая температура (система)

От 0 °C до +70 °C

Температура прогрева (в нерабочем состоянии)

120 °C (только для считывающей головки и шкалы)

Класс защиты

Считывающая головка: IP20

Интерфейс: IP20

Конструкция кабеля

Экранирующая оплетка с покрытием из луженой меди, изоляция сердечника из FEP

Подробные сведения см. в проспектах изделия.